Thiết bị xử lý khí đuôi có thể xử lý các khí được sử dụng trong các quá trình khắc và các quá trình lắng đọng hơi hóa học trong các công nghiệp bán dẫn, tinh thể lỏng và năng lượng mặt trời, bao gồm SIH4, SIH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, N
Phương pháp xử lý khí thải
Theo các đặc điểm của điều trị khí thải, việc điều trị có thể được chia thành bốn loại điều trị:
1. Loại rửa nước (xử lý khí ăn mòn)
2. Loại oxy hóa (xử lý khí đốt và độc hại)
3. Hấp phụ (theo loại vật liệu hấp phụ để đối phó với khí thải tương ứng).
4. Loại đốt cháy (tất cả các loại khí thải có thể được xử lý).
Mỗi loại điều trị có những ưu điểm và nhược điểm riêng cũng như phạm vi ứng dụng của nó. Khi phương pháp xử lý là rửa nước, thiết bị rẻ và đơn giản, và chỉ có thể xử lý các loại khí tan trong nước; Phạm vi ứng dụng của loại rửa nước điện cao hơn so với loại rửa nước, nhưng chi phí hoạt động cao; Loại khô có hiệu quả xử lý tốt, và không áp dụng cho dòng khí dễ bị tắc hoặc chảy.
Hóa chất và các sản phẩm phụ của chúng thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn có thể được phân loại theo tính chất hóa học của chúng và các phạm vi khác nhau của chúng:
1. Khí dễ cháy như SIH4H2, v.v.
2. Khí độc hại như ASH3, PH3, v.v.
3. Các khí ăn mòn như HF, HCl, v.v.
4. Khí nhà kính như CF4, NF3, v.v.
Vì bốn loại khí trên có hại cho môi trường hoặc cơ thể con người, phải ngăn chặn sự phát xạ trực tiếp của nó vào khí quyển, do đó, nhà máy bán dẫn chung được lắp đặt với một hệ thống xử lý khí thải tập trung lớn, nhưng hệ thống này chỉ có khí thải chảy nước, do đó, ứng dụng của nó bị giới hạn trong các khí đốt quá trình. Do đó, cần phải chọn và phù hợp với thiết bị xử lý khí thải tương ứng theo các đặc tính khí có nguồn gốc từ mỗi quá trình để giải quyết vấn đề khí thải theo một cách nhỏ. Vì khu vực làm việc chủ yếu cách xa hệ thống xử lý khí thải trung tâm, thường là do các đặc điểm khí dẫn đến kết tinh hoặc tích tụ bụi trong đường ống, dẫn đến việc tắc nghẽn đường ống dẫn đến rò rỉ khí, và trong các trường hợp nghiêm trọng, thậm chí gây ra vụ nổ, không thể đảm bảo rằng nhân viên của trang web. Do đó, trong khu vực làm việc cần cấu hình một thiết bị xử lý khí thải nhỏ phù hợp với các đặc tính của khí thải, để giảm khí thải trì trệ trong khu vực làm việc, để đảm bảo an toàn cho nhân sự.
Thời gian đăng: tháng 8-10-2023