Các khu vực ứng dụng cho các hệ thống đường ống khí có độ bền cao

Dự án bao gồm các ngành công nghệ cao như chất bán dẫn, mạch tích hợp, màn hình bảng phẳng, quang điện tử, ô tô, năng lượng mới, nano, quang học sợi, điện tử vi mô, hóa dầu, y sinh, các phòng thí nghiệm khác nhau, quản lý nghiên cứu, và thử nghiệm tiêu chuẩn, v.v.

Công nghệ đường ống khí có độ tinh khiết cao

　　Công nghệ đường ống khí có độ tinh khiết cao là một phần quan trọng của hệ thống cung cấp khí có độ tinh khiết cao và là một công nghệ quan trọng để cung cấp khí tinh khiết cao cho điểm cung cấp cần thiết. Cái gọi là công nghệ đường ống khí có độ bền cao bao gồm thiết kế chính xác của hệ thống, lựa chọn phụ kiện và phụ kiện, xây dựng và lắp đặt, thử nghiệm và cách mạng

　　Các loại khí chung

　　Khí chung được phân loại trong ngành công nghiệp điện tử khí chung là: khí chung, còn được gọi là khí khối: hydro (H2), nitơ (N2), oxy (O2), argon (A2) và các loại khí đặc biệt khác (khí đặc biệt) Hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride, boron hexafluoride. vv Các loại khí đặc biệt thường được phân loại là ăn mòn, độc hại, dễ cháy, dễ cháy, được hỗ trợ, v.v.

　　Khí bán dẫn chung được phân loại như sau

　　.

　　. Và như vậy.

　　(3) Tính dễ cháy: O2, CL2, N2O, NF3, v.v.

　　. Có hại cho cơ thể con người.

　　Cụ thể, một số khí, chẳng hạn như SIH4, có tính chất đốt cháy tự phát. Một khi sự rò rỉ xảy ra, nó sẽ phản ứng dữ dội với oxy trong không khí và bắt đầu cháy.ash3 cũng độc hại. Rò rỉ nhỏ có thể gây hại cho cuộc sống của mọi người. Do những nguy hiểm rõ ràng này, các yêu cầu an toàn cho thiết kế hệ thống đặc biệt cao.

　　Hệ thống đường ống khí đặc biệt điện tử