Các hóa chất và khí khác nhau được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi các hệ thống chất lỏng mạnh mẽ để cung cấp không bị gián đoạn ở mọi giai đoạn sản xuất. Các hệ thống chất lỏng này phải có khả năng hỗ trợ các điều kiện quá trình cực đoan cần thiết cho sản xuất chất bán dẫn trong khi đảm bảo quy trình sạch, không bị rò rỉ và được kiểm soát. Do đó, việc lựa chọn các thành phần hệ thống chất lỏng là rất quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn chính xác.
Chọn các thành phần hệ thống chất lỏng chất lượng cao đồng nghĩa với hiệu quả sản xuất tăng và giảm thời gian ngừng hoạt động của hệ thống. Đối với quy trình sản xuất chất bán dẫn, chúng tôi sẽ thảo luận về vai trò quan trọng của các thành phần hệ thống chất lỏng và tầm quan trọng của độ tin cậy của chúng.
Tầm quan trọng của các thành phần hệ thống chất lỏng trong sản xuất chất bán dẫn
Các thành phần của hệ thống chất lỏng trong sản xuất chất bán dẫn bao gồm các hệ thống trộn hóa học, truyền tải và điều khiển khác nhau để vận chuyển chất lỏng hóa học an toàn trong môi trường được kiểm soát. Một hệ thống chất lỏng lý tưởng có:
Trộn hóa chất đồng nhất
Kiểm soát nội bộ
Tính nhiệt độ và kiểm soát áp suất
Cung cấp hóa chất
Chỉ các thành phần chất lượng cao nhất mới có thể cung cấp các điều kiện lý tưởng như vậy trong hệ thống chất lỏng bán dẫn. Những lợi thế của việc sử dụng các thành phần như vậy bao gồm:
Chính xác: Các thành phần như van, bộ điều chỉnh và máy bơm hoạt động song song để đảm bảo rằng tỷ lệ hóa học chính xác được chuyển đến tế bào sản xuất. Đầu vào chính xác loại bỏ nguy cơ biến đổi dòng chảy, giúp cải thiện chất lượng của sản phẩm cuối cùng.
Khả năng tương thích và độ sạch: Các thành phần hệ thống chất lỏng với các chế phẩm vật liệu tương thích với chất lỏng quá trình làm giảm nguy cơ ô nhiễm. Ngoài ra, việc lắp đặt không có rò rỉ các thành phần hệ thống chất lỏng này làm giảm các chất gây ô nhiễm hạt, cung cấp môi trường sản xuất sạch và được kiểm soát để cải thiện năng suất.
An toàn: Khí và hóa chất được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn có thể gây hại cho sức khỏe con người. Tuy nhiên, các thành phần hệ thống chất lỏng được thiết kế để ngăn chặn rò rỉ và sự cố tràn có thể cung cấp các chất lỏng này cho các đơn vị sản xuất một cách an toàn và được kiểm soát.
Hiệu quả: Việc xây dựng không bị rò rỉ và kiểm soát chính xác các thành phần hệ thống chất lỏng chất lượng cao giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và các yêu cầu bảo trì thường xuyên, thúc đẩy sản xuất trơn tru, hiệu quả để đáp ứng các mục tiêu sản xuất.
Chất lượng các giải pháp thành phần hệ thống chất lỏng được sản xuất
Các thành phần hệ thống chất lỏng yêu cầu lắp đặt chất lượng cao để đáp ứng các thách thức của sản xuất chất bán dẫn. Các thành phần chính ảnh hưởng đến FAB bao gồm:
Van: Van hiệu suất cao, chẳng hạn như cơ hoành, ống thổi hoặc van kim, điều chỉnh lý tưởng cho dòng chất lỏng trong các cơ sở sản xuất. Các van bền, chất lượng cao cung cấp độ chính xác và kiểm soát cần thiết để cải thiện hiệu quả của quá trình sản xuất và xử lý cho sản xuất chất bán dẫn quan trọng.
Phụ kiện: Các phụ kiện độ tinh khiết cao cho hệ thống ống và ống và các thành phần quan trọng khác cung cấp các kết nối kín để tăng cường sự an toàn và tinh khiết của các thành phần hệ thống chất lỏng.
Vòi: Đối với các yêu cầu sản xuất chính xác, các ống cách nhiệt hỗ trợ quản lý nhiệt để các điều kiện xử lý trong phòng sản xuất có thể được duy trì tối ưu. Điều này rất quan trọng vì dao động nhiệt độ nhỏ nhất có thể làm hỏng chip và dẫn đến chất thải sản xuất.
Ống linh hoạt: Trường hợp điều kiện cho phép, có thể sử dụng ống linh hoạt để giảm số lượng phụ kiện trong lắp ráp hệ thống chất lỏng. Các ống được uốn cong để có được đường dẫn chất lỏng mong muốn. Ít phụ kiện hơn có nghĩa là ít nguy cơ rò rỉ và thiệt hại do rung động và chuyển động.
Các cơ quan quản lý: Các cơ quan quản lý kiểm soát áp lực một cách hiệu quả ở mỗi giai đoạn của quy trình sản xuất chất bán dẫn. Dòng chảy không đổi và chính xác đạt được năng suất phù hợp, chất lượng cao trong khi tránh các hóa chất chất lỏng bị lãng phí và vật liệu đặc sản.
Bộ lọc: Một hạt đơn có thể ảnh hưởng đến hiệu suất bán dẫn. Việc sử dụng các bộ lọc độ tinh khiết cực cao giúp loại bỏ ô nhiễm hạt và giảm thiểu thiệt hại chip.
Hiệu quả của hệ thống chất lỏng trong sản xuất chất bán dẫn có thể đạt được với phạm vi rộng của các van, phụ kiện, bộ điều chỉnh, bộ lọc và bộ lọc chất lượng cao của AFK-Lok.
Thời gian đăng: Tháng 10-09-2023