Ngành công nghiệp khí trong ngành công nghiệp bán dẫn

Việc sử dụng khí trong ngành công nghiệp bán dẫn có từ đầu những năm 1950 đến 1960. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, khí chủ yếu được sử dụng để làm sạch và bảo vệ vật liệu bán dẫn để đảm bảo độ tinh khiết và chất lượng của chúng. Trong số các loại khí được sử dụng phổ biến nhất là nitơ và hydro.

Khi công nghệ bán dẫn phát triển và quá trình sản xuất tiếp tục được cải thiện, nhu cầu về khí tăng lên. Vào năm 1970, sự phát triển hơn nữa của công nghệ sản xuất chất bán dẫn, việc áp dụng khí trong các quá trình chính như khắc và lắng đọng màng mỏng tăng dần, và khí fluoride (ví dụ SF6) và oxy trở nên thường được sử dụng khắc và khí lắng. Năm 1980 chứng kiến ​​sự gia tăng hơn nữa về nhu cầu khí với sự phát triển của các mạch tích hợp và sự gia tăng nhu cầu đối với chúng. Hydrogen được sử dụng rộng rãi trong quá trình sản xuất, bao gồm ủ hydro và lắng đọng hơi hydro. Và từ năm 1990 đến nay, nhu cầu về khí tinh khiết cao và các loại khí cụ thể đã tăng lên khi kích thước thiết bị bán dẫn đã tiếp tục thu hẹp và các quá trình mới đã được đưa ra. Ví dụ, việc áp dụng in thạch bản cực tím cực độ (EUV) đòi hỏi phải sử dụng các loại khí cực kỳ mạnh mẽ như nitơ và hydro.

Khí bán dẫn tiếp tục tăng theo sự phát triển của các sản phẩm liên quan được thúc đẩy bởi ngày càng nhiều sản phẩm được tiết lộ, trong khi khí cũng thuộc về nguồn nguy hiểm, do đó, các sản phẩm được sử dụng để giải nén khí, các sản phẩm phát hiện khí và ngăn chặn các sản phẩm rò rỉ khí đã xuất hiện như các bộ điều chỉnh áp suất, van khí thải của chúng

Bộ điều chỉnh áp lực: Bộ điều chỉnh áp suất là các thiết bị được sử dụng để kiểm soát áp suất khí. Chúng thường bao gồm một van điều chỉnh và cảm biến áp suất. Các bộ điều chỉnh áp suất lấy đầu vào khí áp suất cao và ổn định áp suất của khí đầu ra bằng cách điều chỉnh van để đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cụ thể. Các bộ điều chỉnh áp lực được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực như ngành công nghiệp, sản xuất và phòng thí nghiệm, cũng như trong ngành công nghiệp bán dẫn, trong số những người khác, để đảm bảo sự ổn định và an toàn của việc cung cấp khí.

Van khí: Van khí được sử dụng để kiểm soát dòng khí và đóng các đoạn khí. Chúng thường có chức năng BẬT/TẮT mở hoặc đóng luồng khí. Có nhiều loại van khí khác nhau, bao gồm van thủ công, van điện và van khí nén. Chúng được sử dụng rộng rãi trong các hệ thống khí để kiểm soát dòng chảy, áp suất và tốc độ dòng chảy của khí.

Đồng hồ đo áp suất khí: Đồng hồ đo áp suất khí được sử dụng để đo mức áp suất của khí. Chúng thường được cài đặt tại các vị trí quan trọng trong các hệ thống khí để theo dõi thay đổi áp lực và đảm bảo rằng chúng nằm trong giới hạn an toàn. Đồng hồ đo áp lực khí được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp, sản xuất và phòng thí nghiệm, và ngành công nghiệp bán dẫn cũng đã được tham gia.

Máy dò rò rỉ khí: Máy dò rò rỉ khí được sử dụng để phát hiện rò rỉ trong các hệ thống khí. Họ phát hiệnSự hiện diện của rò rỉ khí và âm thanh báo động để có thể thực hiện hành động kịp thời để ngăn ngừa các vụ tai nạn rò rỉ. Máy dò rò rỉ khí được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng công nghiệp, hóa học, dầu khí và ngành công nghiệp bán dẫn cũng đã được tham gia.