Khi thị trường bán dẫn phát triển, các tiêu chuẩn cho độ tinh khiết và độ chính xác trở nên nghiêm ngặt hơn. Một trong những yếu tố xác định chất lượng sản xuất chất bán dẫn là các loại khí được sử dụng trong quá trình này. Những khí này đóng nhiều vai trò trong quá trình sản xuất, bao gồm:
Kiểm soát quá trình chính xác
Phòng ngừa ô nhiễm
Tăng cường tài sản luyện kim
Để thực hiện các vai trò này một cách hiệu quả, hệ thống cung cấp và phân phối khí phải hiệu quả. Thiết kế của các hệ thống xử lý khí được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn phải được hỗ trợ bởi các thành phần mạnh mẽ và các tổ hợp tùy chỉnh để đảm bảo sản xuất chất bán dẫn đáng tin cậy và chất lượng cao.
Khí được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn
Quá trình sản xuất chất bán dẫn yêu cầu sử dụng các loại khí khác nhau ở các giai đoạn khác nhau của quy trình.
Trong khi các loại khí phổ biến như nitơ, hydro, argon và helium có thể được sử dụng ở dạng tinh khiết của chúng, một số quy trình nhất định có thể yêu cầu hỗn hợp chuyên dụng. Silan hoặc siloxan, hexafluoride, halogen và hydrocarbon là một vài trong số các loại khí đặc biệt được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn. Nhiều trong số các loại khí này có thể gây nguy hiểm hoặc phản ứng cao, tạo ra những thách thức trong việc lựa chọn và thiết kế các thành phần cho các hệ thống khí.
Dưới đây là một số ví dụ:
\ Hydrogen và helium có thể dễ dàng rò rỉ từ các hệ thống đường ống và phù hợp do kích thước và trọng lượng nguyên tử nhỏ của chúng.
\ Silanes rất dễ cháy và có thể đốt cháy một cách tự nhiên (tự động) trong không khí.
\ Nitrogen Difluoride được sử dụng trong các giai đoạn lắng đọng, khắc và làm sạch buồng trở thành một loại khí nhà kính mạnh khi bị rò rỉ vào môi trường.
\ Hydro fluoride (khí khắc) có tính ăn mòn cao với đường ống kim loại.
\ Trimethylgallium và amoniac có thể khó xử lý - sự dao động nhỏ trong các yêu cầu về nhiệt độ và áp suất của chúng có thể ảnh hưởng đến quá trình lắng đọng.
Kiểm soát các điều kiện quá trình để giảm thiểu các tác động tiêu cực của các khí này phải là ưu tiên hàng đầu trong quá trình thiết kế hệ thống. Điều quan trọng không kém là sử dụng các thành phần chất lượng cao nhất như van cơ hoành AFK trong quá trình xây dựng.
Giải quyết các thách thức thiết kế hệ thống
Khí bán dẫn trong hầu hết các trường hợp có độ tinh khiết cao và cung cấp các điều kiện trơ hoặc tăng cường các phản ứng ở các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất, chẳng hạn như khắc và khí lắng đọng. Rò rỉ hoặc ô nhiễm các khí như vậy có thể có tác động tiêu cực. Do đó, điều quan trọng đối với các thành phần hệ thống được sử dụng để được niêm phong và chống ăn mòn cũng như hoàn thiện bề mặt mịn (đánh bóng điện phân) để đảm bảo rằng không có khả năng ô nhiễm và mức độ sạch cực kỳ cao có thể được duy trì.
Ngoài ra, một số trong các khí này có thể được làm nóng hoặc làm mát để đạt được các điều kiện quá trình mong muốn. Các thành phần cách nhiệt tốt đảm bảo kiểm soát nhiệt độ, điều này rất quan trọng cho hiệu suất hiệu quả của sản phẩm cuối cùng.
Từ nguồn nguồn đến điểm sử dụng, phạm vi thành phần rộng của AFK hỗ trợ độ tinh khiết cực cao, nhiệt độ, áp suất và điều khiển dòng chảy cần thiết trong các phòng làm sạch chất bán dẫn và buồng chân không.
Các hệ thống được thiết kế với các thành phần chất lượng trong fabs bán dẫn
Vai trò của các thành phần chất lượng và tối ưu hóa thiết kế là rất quan trọng đối với việc kiểm soát chính xác và sản xuất chất bán dẫn an toàn. Các thành phần được sử dụng cần phải mạnh mẽ và không bị rò rỉ để phù hợp với các điều kiện quy trình khác nhau cần thiết ở các giai đoạn sản xuất khác nhau.
Độ tinh khiết cực cao
Hải cẩu không bị rò rỉ
Nhiệt độ cách nhiệt
Kiểm soát áp lực
Kháng ăn mòn
Điều trị đánh bóng điện phân
Thời gian đăng: Tháng 10-09-2023