Quá trình sản xuất khí đặc biệt điện tử bao gồm một số quy trình như tổng hợp, tinh chế, làm đầy, phân tích và thử nghiệm, trộn và tỷ lệ. Để đáp ứng các yêu cầu sản xuất chất bán dẫn hạ nguồn cho nội dung tinh khiết và tạp chất, quá trình tinh chế là rất quan trọng. Tùy thuộc vào thành phần của khí tổng hợp ngược dòng hoặc khí thô, chưng cất nhiệt độ thấp hoặc tinh chế nhiều giai đoạn được thực hiện.
Yêu cầu sạch sẽ cao
Quá trình chuẩn bị các khí đặc biệt điện tử có thể được chia thành hai khối chính của việc chuẩn bị và tinh chế tổng hợp ngược dòng, thuộc về quy trình sản xuất hóa học. Kích thước của đường ống sản xuất là lớn, và không có yêu cầu mức độ sạch đặc biệt. Sau khi tinh chế xuôi dòng, sản phẩm chứa đầy khí và trộn để chuẩn bị. Các đường ống sản xuất là nhỏ và có yêu cầu mức độ sạch. Nó cần đáp ứng các đặc điểm kỹ thuật tiêu chuẩn của quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Yêu cầu niêm phong cao
Do hoạt động hóa học của họ, khí đặc biệt điện tử cũng đặt ra nhu cầu cao đối với các vật liệu và niêm phong hệ thống quy trình sản xuất. Giống như các yêu cầu của sản xuất chất bán dẫn, nó ngăn chặn rò rỉ giao diện gây ra bởi sự ra đời của tạp chất hoặc ăn mòn các loại khí đặc biệt. Hệ thống cũng có thể được sử dụng để ngăn chặn sự ra đời của tạp chất hoặc rò rỉ giao diện gây ra bởi sự ăn mòn của các khí đặc biệt.
Yêu cầu ổn định chất lượng cao
Chất lượng của khí đặc biệt điện tử bao gồm một số chỉ số như hàm lượng hạt tinh khiết và tạp chất. Bất kỳ thay đổi nào trong các chỉ số sẽ ảnh hưởng đến kết quả của quy trình sản xuất bán dẫn hạ nguồn. Do đó, để đảm bảo tính nhất quán của các chỉ số sản phẩm khí đặc biệt điện tử, hệ thống quy trình chuẩn bị để kiểm soát tính ổn định của các chỉ số cũng rất quan trọng.
Do hoạt động hóa học và yêu cầu chất lượng của EGP, hệ thống sản xuất để chuẩn bị EGP, đặc biệt là hệ thống tinh chế xuôi dòng, phải đáp ứng các yêu cầu của vật liệu có độ tinh khiết cao, niêm phong cao, sạch sẽ và tính nhất quán cao và xây dựng các thành phần được thiết kế phải đáp ứng các tiêu chuẩn của ngành sản xuất bán dẫn.
Những gì chúng ta thường gọi là độ tinh khiết cao của người Hồi giáo là về mặt lý thuyết là định nghĩa về độ tinh khiết của một chất, chẳng hạn như khí tinh khiết cao, hóa chất tinh khiết cao, v.v ... Hệ thống quy trình hoặc các thành phần hệ thống quy trình được áp dụng cho các chất có độ bền cao cũng được gọi là độ tinh khiết cao, như các hệ thống tinh khiết cao. Hệ thống chuẩn bị khí đặc biệt điện tử yêu cầu phụ kiện ứng dụng có độ tinh khiết cao, van và các thành phần chất lỏng khác, IE, phụ kiện và van được xử lý với vật liệu có độ tinh khiết cao và quy trình sản xuất sạch, và được cấu trúc để dễ dàng thanh lọc và làm sạch. Với hiệu suất niêm phong cao. Các thành phần chất lỏng này được thiết kế để đáp ứng đường dẫn quy trình của ứng dụng, sử dụng các yêu cầu kỹ thuật và xây dựng của ngành công nghiệp bán dẫn.
Kết nối đường ống có độ tinh khiết cao
Các kết nối dấu ấn mặt bằng kim loại VCR và các kết nối hàn mông tự động được sử dụng rộng rãi trong yêu cầu các yêu cầu về quá trình tinh khiết của hệ thống chất lỏng do khả năng đáp ứng cả sự chuyển đổi trơn tru của đường dẫn dòng chảy ở kết nối, không có vùng trì trệ và hiệu suất niêm phong cao. Kết nối lặp lại và phù hợp và hiệu suất niêm phong được đảm bảo mỗi khi các miếng đệm bị biến dạng được loại bỏ và thay thế.
Các ống được hàn bằng hệ thống hàn quỹ đạo tự động. Các ống được bảo vệ bởi khí có độ tinh khiết cao trong và ngoài. Điện cực vonfram quay dọc theo quỹ đạo để hàn chất lượng cao. Hàn quỹ đạo hoàn toàn tự động làm tan chảy đường ống mà không giới thiệu các vật liệu khác, việc đạt được một mối hàn chất lượng cao bằng cách liên tục kiểm soát ống có thành mỏng rất khó đạt được với hàn thủ công.
Kết nối con dấu mặt bằng kim loại VCR
Kết nối hàn mông quỹ đạo tự động của đường ống
Van có độ tinh khiết cao
Hoạt động hóa học của khí đặc biệt dễ cháy, nổ, ăn mòn và độc hại đặt ra nhu cầu cao trong việc niêm phong van. Để cải thiện độ tin cậy niêm phong, yêu cầu của các van không đóng gói để ngăn chặn rò rỉ bên ngoài, nghĩa là chuyển đổi hoạt động của thân van và thân van giữa con dấu bằng cách sử dụng ống thổi kim loại hoặc cơ hoành kim loại, để loại bỏ rò rỉ do biến dạng mài mòn và đóng gói. Các van kín và kín của Bellows thường được sử dụng trong các hệ thống xử lý cho các ứng dụng có độ tinh khiết cao vì độ tin cậy cao hơn của các con dấu và làm sạch và thanh lọc dễ dàng hơn của các bên trong van.
Các van niêm phong Bellows là một cấu trúc van kim không đóng gói cho phép mở và điều chỉnh dòng chảy chậm. Được sử dụng để làm đầy khí đặc biệt điện tử với các yêu cầu lưu lượng an toàn hoặc trên các chai nguồn tiền thân với các yêu cầu an toàn cao. Các con dấu đầu thân kim loại cho phép nhiệt độ hoạt động cực thấp và được sử dụng để hóa lỏng chất lạnh của khí đặc biệt điện tử trong các bể sản phẩm hoàn chỉnh sau khi chưng cất lạnh để tạo đường ống.
Van seal hoành không có van là van snap-ben 1/4 để sử dụng làm van chuyển mạch được điều khiển tự động trong đường ống phân phối. Chúng thường được sử dụng trong các ứng dụng siêu cao, áp suất cao, có độ tinh khiết cao do đường dẫn nội bộ đơn giản của chúng, khối lượng bên trong nhỏ và dễ thanh lọc và thay thế.
Các van niêm phong cơ hoành đóng qua đầu gốc có thể mở chậm và được sử dụng ở áp suất hoạt động cao hơn các van kín không có màng. Chúng được sử dụng rộng rãi trên các chai khí đặc sản điện tử áp suất cao hoặc chai nguồn tiền thân.
Van ống dẫn niêm phong thứ cấp không chỉ có thể được sử dụng trong các hệ thống xử lý nhiệt độ cực thấp ở -200 độ, mà còn ngăn ngừa rò rỉ môi trường nguy hiểm vào khí quyển. Thường được sử dụng cho các khí đặc biệt điện tử rất nguy hiểm, chẳng hạn như hệ thống làm đầy Silane.
Công ty TNHH Công nghệ Thâm Quyến Wofei, với hơn 10 năm kinh nghiệm trong việc cung cấp khí công nghiệp và đặc sản, vật liệu, hệ thống cung cấp khí và kỹ thuật khí cho các thị trường bán dẫn, LED, DRAM, TFT-LCD, chúng tôi có thể cung cấp cho bạn các vật liệu cần thiết để đẩy các sản phẩm của bạn lên hàng đầu trong ngành. Chúng tôi không chỉ có thể cung cấp một loạt các van và phụ kiện cho các loại khí đặc sản điện tử bán dẫn, mà chúng tôi cũng có thể thiết kế đường ống khí và lắp đặt thiết bị cho khách hàng. Nếu bạn có bất kỳ nhu cầu nào trong lĩnh vực này, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi theo số 27919860.
Thời gian đăng: tháng 7-19-2023