Công nghệ đường ống khí có độ tinh khiết cao là một phần quan trọng của hệ thống cung cấp khí có độ tinh khiết cao, đây là công nghệ chính để cung cấp khí đốt cao cần thiết đến mức sử dụng và vẫn duy trì chất lượng đủ điều kiện; Công nghệ đường ống khí có độ bền cao bao gồm thiết kế chính xác của hệ thống, lựa chọn phụ kiện và phụ kiện, xây dựng và lắp đặt và thử nghiệm. Trong những năm gần đây, các yêu cầu ngày càng nghiêm ngặt về độ tinh khiết và tạp chất của các loại khí có độ tinh khiết cao trong việc sản xuất các sản phẩm vi điện tử được đại diện bởi các mạch tích hợp quy mô lớn đã làm cho công nghệ đường ống của các loại khí có độ tinh khiết cao ngày càng quan tâm và nhấn mạnh. Sau đây là một tổng quan ngắn gọn về đường ống khí có độ bền cao từ lựa chọn vật liệuof Xây dựng, cũng như chấp nhận và quản lý hàng ngày.
Các loại khí phổ biến
Phân loại các loại khí phổ biến trong ngành công nghiệp điện tử：
Khí thông thường（Khí số lượng lớn）: hydro (h2), nitơ (n2), oxy (o2), argon (a2), vân vân.
Khí đặc biệtlà sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,POCL3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,Đồng,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… vân vân.
Các loại khí đặc biệt thường có thể được phân loại là ăn mònkhí, độc hạikhí, dễ cháykhí, dễ cháykhí, trơkhí, v.v ... Các khí bán dẫn thường được sử dụng thường được phân loại như sau.
(i) ăn mòn / độc hạikhí: HCl, BF3, Wf6, Hbr, Sih2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3…vân vân.
(ii) Tính dễ cháykhí: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch3F, Co… vv.
(iii) Khả năng đốt cháykhí: O2, Cl2, N2O, nf3… vân vân.
(iv) trơkhí: N2, Cf4, C2F6, C4F8,SF6, Đồng2, Ne, kr, anh ấy vv.
Nhiều khí bán dẫn có hại cho cơ thể con người. Đặc biệt, một số trong những khí này, chẳng hạn như SIH4 Đốt cháy tự phát, miễn là rò rỉ sẽ phản ứng dữ dội với oxy trong không khí và bắt đầu cháy; và tro3Rất độc hại, bất kỳ rò rỉ nhẹ nào cũng có thể gây ra nguy cơ sống của con người, đó là do những nguy hiểm rõ ràng này, vì vậy các yêu cầu về sự an toàn của thiết kế hệ thống là đặc biệt cao.
Phạm vi ứng dụng của khí
Là một nguyên liệu thô cơ bản quan trọng của ngành công nghiệp hiện đại, các sản phẩm khí được sử dụng rộng rãi và một số lượng lớn các loại khí hoặc khí đặc biệt được sử dụng trong luyện kim, thép, dầu mỏ, ngành hóa chất, máy móc, điện tử, thủy tinh, gốm sứ, vật liệu xây dựng, xây dựng, chế biến thực phẩm, y học và y tế. Việc áp dụng khí có tác động quan trọng đến công nghệ cao của các lĩnh vực này nói riêng, và là khí liệu nguyên liệu thô không thể thiếu hoặc khí. Chỉ với nhu cầu và quảng bá của các lĩnh vực công nghiệp mới và khoa học và công nghệ hiện đại khác nhau, các sản phẩm của ngành khí đốt có thể được phát triển bởi những bước nhảy vọt về sự đa dạng, chất lượng và số lượng.
Ứng dụng khí trong ngành công nghiệp điện tử và chất bán dẫn
Việc sử dụng GAS luôn đóng một vai trò quan trọng trong quá trình bán dẫn, đặc biệt là quá trình bán dẫn đã được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp khác nhau, từ ULSI truyền thống, TFT-LCD đến ngành công nghiệp cơ chế điện tử vi mô (MEMS) hiện tại, tất cả đều sử dụng quy trình được gọi là quy trình bán dẫn. Độ tinh khiết của khí có tác động quyết định đến hiệu suất của các thành phần và năng suất sản phẩm, và sự an toàn của nguồn cung cấp khí có liên quan đến sức khỏe của nhân sự và sự an toàn của các hoạt động của nhà máy.
Tầm quan trọng của đường ống có độ tinh khiết cao trong vận chuyển khí có độ tinh khiết cao
Trong quá trình làm tan chảy bằng thép không gỉ và làm vật liệu, khoảng 200g khí có thể được hấp thụ trên mỗi tấn. Sau khi xử lý thép không gỉ, không chỉ bề mặt dính với các chất gây ô nhiễm khác nhau, mà còn trong mạng kim loại của nó cũng hấp thụ một lượng khí nhất định. Khi có luồng không khí qua đường ống, kim loại sẽ hấp thụ phần này của khí sẽ quay lại luồng khí, làm ô nhiễm khí tinh khiết. Khi luồng không khí trong ống là dòng chảy không liên tục, ống hấp phụ khí dưới áp suất và khi luồng không khí ngừng đi qua, khí được hấp phụ bởi ống tạo thành giảm áp lực để giải quyết, và khí giải quyết cũng đi vào khí tinh khiết trong ống làm tạp chất. Đồng thời, sự hấp phụ và độ phân giải được lặp lại, do đó kim loại trên bề mặt bên trong của ống cũng tạo ra một lượng bột nhất định, và các hạt bụi kim loại này cũng gây ô nhiễm khí tinh khiết bên trong ống. Đặc điểm này của ống là rất cần thiết để đảm bảo độ tinh khiết của khí được vận chuyển, không chỉ đòi hỏi độ mịn rất cao của bề mặt bên trong của ống, mà còn có khả năng chống mài mòn cao.
Khi khí có hiệu suất ăn mòn mạnh được sử dụng, các ống thép không gỉ chống ăn mòn phải được sử dụng để đường ống. Mặt khác, đường ống sẽ tạo ra các điểm ăn mòn trên bề mặt bên trong do ăn mòn, và trong các trường hợp nghiêm trọng, sẽ có một diện tích lớn của việc tước kim loại hoặc thậm chí là thủng, sẽ làm ô nhiễm khí tinh khiết được phân phối.
Sự kết nối của các đường ống dẫn khí và phân phối độ sạch cao và độ sạch cao của tốc độ dòng chảy lớn.
Về nguyên tắc, tất cả chúng được hàn và các ống được sử dụng được yêu cầu không có thay đổi trong tổ chức khi hàn. Các vật liệu có hàm lượng carbon quá cao phải chịu độ thấm không khí của các bộ phận hàn khi hàn, làm cho sự xâm nhập lẫn nhau của các khí bên trong và bên ngoài đường ống và phá hủy độ tinh khiết, khô và sạch của khí truyền, dẫn đến mất tất cả các nỗ lực của chúng tôi.
Tóm lại, đối với đường ống dẫn khí đặc biệt và khí đặc biệt cao, cần sử dụng một cách xử lý đặc biệt của ống thép không gỉ tinh khiết cao, để tạo ra hệ thống đường ống có độ tinh khiết cao (bao gồm đường ống, phụ kiện, van, VMB, VMP) trong phân phối khí có độ tinh khiết cao chiếm một nhiệm vụ quan trọng.
Khái niệm chung về công nghệ sạch cho đường ống truyền và phân phối
Truyền cơ thể khí tinh khiết và sạch với đường ống có nghĩa là có một số yêu cầu hoặc điều khiển nhất định cho ba khía cạnh của khí được vận chuyển.
Độ tinh khiết của khí: Hàm lượng của bầu không khí tạp chất ở độ tinh khiết của GGAS: Hàm lượng khí quyển tạp chất trong khí, thường được biểu thị bằng tỷ lệ phần trăm của độ tinh khiết khí, chẳng hạn như 99,9999%, cũng được biểu thị bằng tỷ lệ khối lượng của không khí tạp chất PPM, PPB, PPT.
Độ khô: Lượng độ ẩm theo dõi trong khí, hoặc lượng gọi là độ ẩm, thường được biểu thị bằng điểm sương, chẳng hạn như điểm sương áp suất khí quyển -70. C.
Độ sạch: Số lượng các hạt gây ô nhiễm có trong khí, kích thước hạt của Muffm, có bao nhiêu hạt/m3 để biểu hiện, đối với không khí nén, thường cũng được biểu thị bằng bao nhiêu mg/m3 của dư lượng rắn không thể tránh khỏi, bao gồm hàm lượng dầu.
Phân loại kích thước chất gây ô nhiễm: Các hạt gây ô nhiễm, chủ yếu đề cập đến việc quét đường ống, hao mòn, ăn mòn được tạo ra bởi các hạt kim loại, các hạt bồ hóng trong khí quyển, cũng như các vi sinh vật, phage và các giọt khí có chứa độ ẩm, v.v.
A) Các hạt lớn - Kích thước hạt trên 5μm
B) Hạt-Đường kính vật liệu giữa 0,1μm-5μm
C) Các hạt siêu micro-Kích thước hạt nhỏ hơn 0,1μm.
Để tăng cường ứng dụng của công nghệ này, để có thể hiểu biết về kích thước hạt và đơn vị μM, một tập hợp trạng thái hạt cụ thể được cung cấp để tham khảo
Sau đây là so sánh các hạt cụ thể
| Tên /Kích thước hạt (Pha) | Tên /Kích thước hạt (Pha) | Tên/ Kích thước hạt () |
| Virus 0,003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Microdroplet khí dung 1-12 |
| Nhiên liệu hạt nhân 0,01-0.1 | Sơn 0,1-6 | Tro bay 1-200 |
| Carbon đen 0,01-0.3 | Sữa sữa 0,1-10 | Thuốc trừ sâu 5-10 |
| Nhựa 0,01-1 | Vi khuẩn 0,3-30 | Bụi xi măng 5-100 |
| Khói thuốc lá 0,01-1 | Bụi cát 0,5-5 | Phấn hoa 10-15 |
| Silicone 0,02-0.1 | Thuốc trừ sâu 0,5-10 | Tóc người 50-120 |
| Muối kết tinh 0,03-0,5 | Bụi lưu huỳnh cô đặc 1-11 | Cát biển 100-1200 |
Thời gian đăng: Tháng 6-14-2022